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光刻胶显影后变薄怎么回事
光刻胶显影后变薄怎么回事
曝光剂量低。如果曝光剂量过低,反转烘烤步骤甚至不能使曝光区域表面的光刻胶发生转变,这将会增加了显影液的腐蚀率。因此,在显影时光刻胶膜很薄很容易剥落,从而削弱了底切。光刻胶,又称光致抗蚀剂,具有光化学敏感性,它的用途是在光的照射下溶解度发生变化,一般以液态涂···
2025-01-28 14:31:31